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技术描述：中国科学院力学研究所镀层工艺力学及摩擦学课题组长期从事高功率脉冲磁控溅射技术（HiPIMS）研究，探索高密度等离子体的发生、传输及沉积的力学过程，形成极端环境适应性涂层的结构与性能的控制技术。课题组基于SRIM粒子溅射模拟结果，设计了AlCrTiVZr高熵合金靶材。在此基础上，通过HiPIMS技术制备高熵氮化物涂层，系统研究了氮气流量对等离子体沉膜环境、涂层微观结构、机械性能以及摩擦学性能的调控机制。涂层沉积中高达100A的峰值电流显示了高熵氮化物涂层沉积过程中高密度的等离子体沉膜环境。通过利用高密度等离子体加强高能粒子轰击效应以及涂层表面沉积粒子的迁移率，涂层晶粒细化（≤15nm），纳米硬度高达41.3GPa，达到超硬水平，而磨损率则低至2.3×10-7mm3/Nm，所制备的（AlCrTiVZr）N涂层呈现单一的FCC固溶体结构，且微观结构呈现出从无定形致密的非晶或纳米晶态到柱状晶的连续变化。该工作提出超硬高熵合金氮化物涂层的概念，所制备的AlCrTiVZr高熵合金氮化物涂层有望在航空发动机抗冲刷涂层和钛合金切削刀具涂层中得到重要的应用，同时也为HiPIMS技术在制备高熵合金薄膜中的应用起到了推动作用。